Experimentele apparatuur voor chemische reiniging

Gedetailleerde beschrijving van halfgeleider Plastic accessoires producten

1. Productoverzicht

Halfgeleider plastic accessoires zijn hoog-Precisie -engineering plastic componenten speciaal ontworpen voor de productieprocessen, verpakking en testprocessen van de halfgeleider. Ze hebben uitstekende chemische stabiliteit,netheid en mechanische eigenschappen en zijn geschikt voor harde productie -omgevingen van halfgeleiders.

2. Kernfuncties

Materiële eigenschappen

Hoog-zuiverheidsmaterialen: hoog-Performance -kunststoffen zoals Peek (polyetheretheeton), PTFE (polytetrluorethyleen)en PFA (perfluoralkoxyhars) worden aangenomen, met lageneerslag en geen metaalverontreiniging, die overeenkomt met semi -F57 -normen.

Chemische resistentie: resistent tegen zuren, alkalis, organische oplosmiddelen en plasmacorrosie.

Temperatuurweerstand: brede bedrijfstemperatuurbereik (-200°C tot +260°C, afhankelijk van het materiaal).

Lage deeltjesgeneratie: oppervlakteafwerking RA≤0,2μM, het verminderen van het risico op wafelverontreiniging.

Structureel ontwerp

Precisie -spuitgieten of bewerkingsvorming, met een tolerantie van ±0,01 mm.

Modulair ontwerp ondersteunt snel vervanging en onderhoud.

Optionele anti-statisch (ESD) Feature, Surface Resistance 10^6-10^9Ω.

3. Typische producttypen

Wafelverwerking Accessoires: Wafer -dragers, Chuck Gakkets, Foup/FOSB -voeringen.

Vloeistoftransmissiecomponenten: hoog-Zuiverheid chemische kleppen, pomplichaamswijzers, buisverbindingen.

Verpakkingscomponenten: IC -testaanvallen, BGA -verpakkingsbeugels, onderdelen voor loodframe -positionering.

Cleanroom Consumables: Glove Box Panels, Cleanroom-Specifieke gereedschap handgrepen.

4. Toepassingsscenario's

Isolerende componenten in het vorige proces: fotolithografie, etsen, CVD/PVD -apparatuur.

Na-Verpakking: plastic afdichtingsvormen, snijbandbevestigingen.

Testapparatuur: sondekaarthouder, testarmatuur.

5. Industriecertificering ennaleving

Voldoen aan semi- en ISO -klasse 1-3 Cleanroom -normen.

ROHS 2.0 en bereik SVHC -certificering voor geen gevaarlijke stoffen.

UL94 V-0 Vlamvertragende cijfer (Voor sommige modellen).

6. Aangepaste services

Ondersteun klanten bij het aanpassen van maten, kleuren en materiaalformules (zoals het toevoegen van koolstofvezelversterking)en bieden 3D -tekeningverificatie en prototype -maken.

7. Verpakking en transport

Afgedicht stof-Proefverpakking (Klasse 1000 schone tas).

Schokbestendige verpakking, met batchnummer en materiaalrapport aangegeven op het label.