Four hmds/Four à prétraitement/Four à revêtement
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Flux de processus:
Aspirateur - remplissage d'hélium - aspirateur - Remplissage HMDS - pâtisserie
Caractéristiques principales:
SUS316# doublure intérieure en acier inoxydable;
Explosion-Conception de porte et de fenêtres
Il est utilisé pour le prétraitement des HWMD dans le processus de revêtement photorésistaire.
Précédent: Nettoyer à l'azote-four rempli/four à film dur
Suivant: Poste-fourrage/ammoniac-four rempli