Forno HMDS/Forno di pretrattamento/Rivestimento del forno
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Ultimenotizie
Flusso di processo :
Aspirazione - riempimento di elio - aspirazione - Riempimento HMDS - cottura al forno
Caratteristiche principali :
SUS316# rivestimento interno in acciaio inossidabile;
Esplosione-Progettazione di porte e finestre a prova
Viene utilizzato per il pretrattamento di HWMDnel processo di rivestimento fotoresist.
Precedente: Azoto pulito-forno pieno/Forno duro