안티-정적 엿보기 칩 클램프
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웨이퍼 검사를위한 핸드 헬드 도구 인 Peek Wafer Holder. 엿보기에는 할로겐 요소가 포함되어 있지 않으며 반도체 웨이퍼를 오염시키지 않습니다.
글로벌 통합 회로 제조 부문에서는 타이트한 생산 능력이 표준이되어 중국의 통합 회로에 대한 투자가 크게 증가했습니다.-지난 2 년간 관련 분야. 이 투자 붐-특정 재료 제조 산업이지만 높은 수요가 급격히 증가했습니다.-Peek와 같은 성능 자료.
뛰어난 높은 자료-온도 저항, 내마모성, 차원 안정성, 화학적 차단 저항 및 쉬운 가공성은 반도체 제조 공정에서 비교할 수없는 장점을 보여주었습니다. 특히 웨이퍼 클램핑 분야에서, 고유 한 성능을 가진 엿보기 웨이퍼 클램프는 반도체 제조에 없어서는 안될 이상적인 도구가되었습니다. 그것은 웨이퍼의 무결성을 효과적으로 보장 할뿐만 아니라 생산 효율성과 수율을 크게 향상시킵니다. 따라서 반도체 산업에서 엿보기 웨이퍼 클램프는 점점 더 많은 관심과 광범위한 응용을 받고 있습니다.
엿보기 칩 클램프의 핵심 장점은 다음과 같습니다.
오염-무료 클램핑
Peek Wafer 클램프는 순도가 매우 높은 순도가 매우 높고 실리콘 웨이퍼를 오염시킬 수있는 미량 원소를 포함하여 클램핑 공정 동안 절대 안전을 보장하는 변형 된 엿봄 입자 원료로 만들어졌습니다.
안티-정적 보호
엿보기 웨이퍼 클램프는 뛰어난 안티를 특징으로합니다-표면 저항력이 최대 10의 정적 특성^5-10^10Ω그리고 척 부분은 심지어 10에 도달했습니다^7-10^8Ω. 이것은 즉각적인 정적 방전으로 인한 실리콘 웨이퍼의 손상을 효과적으로 방지하며 웨이퍼에 대한 포괄적 인 보호를 제공합니다.
높은-온도 안정성
엿보기 칩 클램프는 오랫동안 사용될 수 있습니다.-고강도, 치수 안정성 및 작은 선형 확장 계수를 유지하면서 260 ℃의 온도 환경. 슬라이딩 마모 및 프렛웨어 마모에 대한 저항력이 뛰어납니다. 웨이퍼와 실리콘 웨이퍼를 집어 들면 표면에 긁힘이나 잔류 물이 발생하지 않으므로 웨이퍼와 실리콘 웨이퍼의 표면 청결을 보장합니다.
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